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先进材料表征方法

 

X射线能谱分析(EDS) 聚焦离子束分析(FIB) 俄歇电子能谱分析(AES) X射线光电子能谱分析(XPS)
动态二次离子质谱分析(D-SIMS) 飞行时间二次离子质谱分析(TOF-SIMS)

 

表面元素分析

 

1、聚焦离子束技术(FIB)

聚焦离子束技术(Focused Ion beam,FIB)是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面,实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性。随着纳米科技的发展,纳米尺度制造业发展迅速,而纳米加工就是纳米制造业的核心部分,纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束技术足彩跟单app(FIB)利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工,配合扫描电镜(SEM)等高倍数电子显微镜实时观察,成为了纳米级分析、制造的主要方法。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、离子注入、切割和故障分析等。

 

2. 聚焦离子束技术(FIB)可为客户解决的产品质量问题

足彩跟单app(1)ZAIICSHENGCHANGONGYIZHONG,FAXIANWEIQUDIANLUSHIKEYOUCUOWU,KELIYONGFIBDEQIEGE,DUANKAIYUANLAIDEDIANLU,ZAISHIYONGDINGQUYUPENJIN,DAJIEDAOQITADIANLUSHANG,SHIXIANDIANLUXIUGAI,ZUIGAOJINGDUKEDA5nm。

(2)CHANPINBIAOMIANCUNZAIWEINAMIJIQUEXIAN,RUYIWU、FUSHI、YANGHUADENGWENTI,XUGUANCHAQUEXIANYUJICAIDEJIEMIANQINGKUANG,LIYONGFIBJIUKEYIZHUNQUEDINGWEIQIEGE,ZHIBEIQUEXIANWEIZHIJIEMIANYANGPIN,ZAILIYONGSEMGUANCHAJIEMIANQINGKUANG。

(3)WEIMIJICHICUNDEYANGPIN,JINGGUOBIAOMIANCHULIXINGCHENGBOMO,XUYAOGUANCHABOMODEJIEGOU、YUJICAIDEJIEHECHENGDU,KELIYONGFIBQIEGEZHIYANG,ZAISHIYONGSEMGUANCHA。

 

3. 聚焦离子束技术(FIB)注意事项

足彩跟单app(1)YANGPINDAXIAO5×5×1cm,DANGYANGPINGUODAXUQIEGEQUYANG。

(2)YANGPINXUDAODIAN,BUDAODIANYANGPINBIXUNENGPENJINZENGJIADAODIANXING。

足彩跟单app(3)QIEGESHENDUBIXUXIAOYU50WEIMI。

 

4.应用实例

(1)WEIMIJIQUEXIANYANGPINJIEMIANZHIBEI

聚焦离子束分析

 

(2)PCBDIANLUDUANLIEWEIZHI,LIYONGLIZICHENGXIANGGUANCHATONGBOJINXIANG。

聚焦离子束分析

 

 



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