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先进材料表征方法

 

X射线能谱分析(EDS) 聚焦离子束分析(FIB) 俄歇电子能谱分析(AES) X射线光电子能谱分析(XPS)
动态二次离子质谱分析(D-SIMS) 飞行时间二次离子质谱分析(TOF-SIMS)

 

表面元素分析

 

1. 飞行时间二次离子质谱技术

飞行时间二次离子质谱技术(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry,TOF-SIMS)是一种非常灵敏的表面分析技术,通过用一次离子激发样品表面,打出极其微量的二次离子,根据二次离子因不同的质量而飞行到探测器的时间不同来测定离子质量,具有极高分辨率的测量技术。可以广泛应用于物理,化学,微电子,生物,制药,空间分析等工业和研究方面。TOF-SIMS可以提供表面,薄膜,界面以至于三维样品的元素、分子等结构信息,其特点在二次离子来自表面单个原子层分子层(1nm以内),仅带出表面的化学信息,具有分析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特点,广泛应用于物理,化学,微电子,生物,制药,空间分析等工业和研究方面。

 

2. 飞行时间二次离子质谱分析(TOF-SIMS)可为客户解决的产品质量问题

(1)DANGCHANPINBIAOMIANCUNZAIWEIXIAODEYIWU,ERCHANGGUIDECHENGFENCESHIFANGFAWUFAZHUNQUEDUIYIWUJINXINGDINGXINGDINGLIANGFENXI,KEXUANZETOF-SIMSJINXINGFENXI,TOF-SIMSNENGFENXI≥10μmZHIJINGDEYIWUCHENGFEN。

(2)DANGCHANPINBIAOMIANMOCENGTAIBO,WUFASHIYONGCHANGGUICESHIJINXINGCHENGFENFENXI,KEXUANZETOF-SIMSJINXINGFENXI,LIYONGTOF-SIMSKEDINGXINGFENXIMOCENGDECHENGFEN。

(3)DANGCHANPINBIAOMIANCHUXIANYIWU,DANSHIWEINENGQUEDINGYIWUDEZHONGLEI,LIYONGTOF-SIMSCHENGFENFENXI,BUJINKEYIFENXICHUYIWUSUOHANYUANSU,HAIKEYIFENXICHUYIWUDEFENZISHI,BAOKUOYOUJIWUFENZISHI。

(4)DANGMOCENGYUJICAIJIEMIANCHUXIANFENCENGDENGWENTI,DANSHIWEINENGGUANCHADAOMINGXIANDEYIWUHENJI,KESHIYONGTOF-SIMSFENXIBIAOMIANHENLIANGWUZHICHENGFEN,YIQUEDINGJIEMIANSHIFOUCUNZAIWAILAIWURAN,JIANCHUXIANGAODAppmJIBIE。

 

3. 飞行时间二次离子质谱分析(TOF-SIMS)注意事项

(1)YANGPINZUIDAGUIGECHICUNWEI1×1×0.5cm,DANGYANGPINCHICUNGUODAXUQIEGEQUYANG。

(2)QUYANGDESHIHOUBIMIANSHOUHEQUYANGGONGJUJIECHUDAOXUYAOCESHIDEWEIZHI,QUXIAYANGPINHOUSHIYONGZHENKONGBAOZHUANGHUOQITANENGGELIWAIJIEHUANJINGDEBAOZHUANG, BIMIANWAILAIWURANYINGXIANGFENXIJIEGUO。

(3)TOF-SIMSCESHIDEYANGPINBUSHOUDAODIANXINGDEXIANZHI,JUEYUANDEYANGPINYEKEYICESHI。

(4)TOF-SIMSYUANSUFENXIFANWEIH-U,BAOHANYOUJIWUJICAILIAODEYUANSUJIFENZITAI,JIANCHUXIANppmJIBIE。

 

4.应用实例

YANGPINXINXI:TONGBOBIAOMIANFUGAIYOUJIWUDUNHUAMO,DADAOBAOHUTONGBOMUDE,KEHUDUANXUYAOFENXIFENXIBENBINGMIZUOYUTONGBIAOMIANJIEHEFANGSHI 。

飞行时间二次离子质谱分析 飞行时间二次离子质谱分析

 

JIELUN:ZHENGFULIZIPUJUNCHUXIAN415HE416ZHILIANGSHUDEFENZILIZIFENG, BENBINGMIZUO(DAIHAOP2)FENZILIANGWEI175,TUIDUANJIEHEFANGSHIWEIP2-Cu-P2。

 



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